技术编号：6102145
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。背景技术 本发明总地涉及集成电路和其它电子装置的制造。更具体地，本发明提供了一种用于监控半导体机构(facility)环境中的液体的方法和装置。仅作为实例，本发明在超净室机构(例如10级(Class 10))中提供，但将理解本方法和装置可应用于其它环境。自很早以来，人类已制造产品和器具，用于缓解为了在严苛的环境中生存和生活的进行的需求。几个世纪以来，即使非全部也有许多制造的产品都由手工产生。手工经常导致规模的低效率并且也需要高度训练过的技工和工人以制造所需...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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