技术编号：6102200
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过使用干涉测量无需接触而检测物体位置变化的。背景技术 在需要毫微米测量的领域中普遍利用采用激光的迈克尔逊干涉仪。该类型的干涉仪需要从测量目标物体接收反射的光。为此，通常需要使用镜子。在使用镜子的方法中，由于必须以极高的精确度调整光学校准，所以通常使用立体角反射器来测量目标以便干涉测量不会被光学校准的偏差所中断。然而，由于立体角反射器是棱镜，所以它不能附着到极小的位置上。换句话说，如果测量目标对象极小，那么就不能执行采用干涉仪的位置测量。考虑...
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