技术编号：6102253
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于监测流体分配的整体性和定时的方法和系统。更特别地，本发明涉及一种用于实时监测液体分配的整体性的方法和系统。 背景技术 许多工业要求以前后一致的速度在高度可重复的时间段内输送精确体积的液体。另外，在输送结束时，将进行随后的加工，其相对于输送的定时对于工艺的前后一致性和产品的一致性是很重要的。例如，将精确体积的光阻成分输送到硅晶片基体上，从而在晶片上形成厚度一致的光阻材料层。在流体输送后高速旋转晶片，从而将液体均匀地分布到晶片上。对于精确的体...
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