多气体感测装置的制作方法技术资料下载

技术编号:6102269

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本发明涉及一种气体感测装置,特别涉及一种利用平面光波导线路建构具有感测信道与参考信道以提供感测至少一种气体的多气体感测装置。背景技术 多气体的定性、定量检测在环境监控、家用警报、化工控制、温室环境控制及航空等领域有着广泛的应用。使用气体传感器进行多气体的定性定量研究,可以大幅降低测量成本,减少测量周期,并可实现实时监控测量。但由于目前的气体传感器,如半导体氧化物式、金属氧化物式、电化学式或固态电解质式普遍存在着交叉敏感性(Cross sensitivity...
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