技术编号:6102390
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电容性湿度传感器,其使用电容的变化检测湿度的变化。背景技术 相当于JP-A-2002-243690的US 6,580,600中批露的电容性湿度传感器,使用电容的变化检测大气中相对湿度的变化。图5A是相似于US 6,580,600中批露的传感器的电容性湿度传感器100的平面视图。传感器100包括传感器元件10和参考元件90。传感器元件10具有一对梳状电极10a,10b,参考元件90具有一对梳状电极90a,90b。电极10a,10b和电极90a,90...
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