一种真空紫外激发及荧光光谱仪的光学结构的制作方法技术资料下载

技术编号:6104126

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本实用新型属于光谱测量仪器,它涉及一种真空紫外激发及荧光光谱仪的光学结构。背景技术为适应国内研究需要,长春光机所1990年先后为杭州大学和信息产业部55所研制了真空紫外荧光光谱仪,图1所示包括光栅1-1、真空紫外单色仪1-2、空心阴极光源1-3、入缝1-4、出缝1-5、样品室1-6、可见光谱仪1-7。该谱仪采用真空紫外空心阴极光源做真空紫外光源,在120nm、145.9nm及175.5nm能产生很强的单谱线辐射。90年代末浙江大学采用气体放电管做真空紫外激...
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