技术编号：6104672
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种波前传感器，尤其涉及一和新结构的哈特曼波前传感器。哈特曼波前传感器是一种动态波前检测仪器，哈特曼波前传感器采用孔径分割元件和聚焦元件将入射波前分割为子孔径，再将其聚焦于CCD探测器光敏靶面，形成光斑阵列，通过计算机对CCD探测器接收的光斑信号进行处理，获得入射波前的波面误差信号。现有的哈特曼波前传感器通常采用微透镜阵列与CCD探测器耦合的结构。1995年7月20日美国光学协会出版的《应用光学》期刊34卷21期第4186页的“哈特曼和剪切干涉波...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。