技术编号:6104992
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种微波芯片测试装置,它可以广泛应用于各种功能的微波芯片测试,测试频率可在40GHz以下适用。背景技术目前,微波芯片的测试大都使用矢量网络分析仪配合探针台进行测试,芯片的直流馈电一般采用直流探针压在芯片的直流馈电块上。对于低频或者射频频段的芯片,这样的测试方法对于测试结果及成本没有影响。但是如果频率继续升高,到达微波或者毫米波,直流探针附带的高频效应将影响微波芯片的测试结果,而且直流探针馈电的方法,无法在芯片外使用旁路电容来消除这个附加的影响...
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