技术编号：6105975
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及表面改性薄膜性能表征领域，尤其涉及。背景技术表面薄膜已经广泛用于提高基体材料表面的硬度耐磨性及耐腐蚀性能或实现其它的特殊功能。但是在薄膜沉积过程中，由于薄膜与基体的材料物性参数失配，导致在薄膜中存在较大的残余应力；该残余应力值可能达到甚至超过薄膜本身的屈服强度，而且会在薄膜/基体界面处产生较大的应力集中。残余应力可能会严重影响薄膜的一些主要性能，如抗剥落及分层能力、疲劳寿命及结合强度等。如何精确预测薄膜内部的残余应力对薄膜结构的材料及结构设计具有...
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