技术编号：6106742
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种精密尺寸及微位移的激光非接触测量装置；具体地说，涉及直射式和反射式光学结构以及LD驱动电路、CCD激励电路、信号调理单元、时间-电压变换单元。背景技术现代工业生产和工程技术中更加广泛地需要精密尺寸和微位移测量，它们可能是静态的，也可能是动态测量，在线或离线检测，检测精度以1微米到10微米到数十微米的要求诸多数，而且越来越要求非接触测量，并对长期稳定性和使用的环境适应性提出更高的要求。工业中最典型的是机械加工尺寸的在线检测，在工程应用方面最...
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