太阳能多晶硅片切割废液中碳化硅质量含量的分析方法技术资料下载

技术编号:6107049

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本发明涉及太阳能多晶硅片切割领域,特别是涉及一种。背景技术太阳能电池用基板薄片、集成电路用基板状产品的切割,是采用多线切割原理,用钢丝带动由碳化硅磨料构成砂浆对高纯度单晶硅或多晶硅棒进行切割。太阳能硅片切割液废砂浆(以下简称废砂浆)是硅片切割的产物,是由多种物质组成的混合物,其组成一般为 聚乙二醇、碳化硅微粉、单晶硅微粉、水,还包括钢丝切割过程中磨损产生的铁基金属离子、 有机胶粒、二氧化硅、破碎碳化硅微粉(色素、有机胶粒、铁基金属离子和破碎碳化硅微粉) 等...
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