技术编号:6107342
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种用于测试MEMS(微电子机械系统)材料力学性能的测控系统属于MEMS(微电子机械系统)材料力学性能测试的领域。主要应用于对构成MEMS(微电子机械系统)的基本构件(如微悬臂梁、微桥、微轴承等)的材料力学性能进行测试的领域。背景技术微电子机械系统(MEMS)是集传感、信息处理和执行于一体的集成微系统。近年来,已经成为重要的高新和研究工作的热点。MEMS器件的特征尺寸范围为几微米到几毫米。构成其机械结构的基本构件主要包括微悬臂梁、微桥、薄膜和微轴承等。当这...
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