用于混合信号测试的事件测试器结构的制作方法技术资料下载

技术编号:6107456

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本发明涉及一种半导体测试系统,用于测试半导体集成电路,如大规模集成电路(LSI),更具体地说,是涉及一种具有事件测试器结构的半导体测试系统,能够以高速度及高效率测试混合信号集成电路。在本发明的半导体测试系统中,测试系统由多个性能相同或不同的测试器模块自由组合构成,各测试器模块相互独立工作,因此能够同时测试被测器件的模拟信号块和数字信号块。附图说明图1的示意方框图表示常规技术中用于测试半导体集成电路(以下称之“IC器件”、“被测LSI”或“被测器件”等)的半...
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