技术编号:6108231
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是关于一种探针移除装置,特别是关于一种用于维护探针式检测设备的探针移除装置。背景技术参照图1A,其是显示以探针式检测设备1检测基板20的情形。基板20上形成有数个电极21。探针式检测设备1具有数个探针11。该等探针11接触该等电极21,以量测该等电极21的电性(例如,电阻值)。参照图1B,探针式检测设备1包括由探针11及探针套12组成的探针组件10、壳体13、电路板14以及上盖15。探针11插设于探针套12之中。电路板14设于壳体13之中。探针套...
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