技术编号:6108407
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电容型传感器,例如涉及像压力传感器那样检测静电电容的变化的电容型传感器。背景技术 电容型传感器通常在支撑基板上相对配置第一电极和第二电极,支撑基板和第一以及第二电极通过隔片或固定部件等绝缘体来固定支撑。并且,在第一和第二电极上形成了外部连接用触点,以将第一电极连接到检测电路的输入端,将第二电极连接到偏置电压源。这种电容型压力传感器通过用检测电路检测第一电极和第二电极之间的静电电容的变化来检测压力的变化。在上述电容型传感器中,第一和第二电极作为根据...
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