角速度测量设备的制作方法技术资料下载

技术编号:6108448

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本发明涉及适用于例如检测角速度的角速度测量设备。背景技术 通常,在其中安装了角速度检测元件和信号处理元件的角速度测量设备已经众所周知(例如,见专利文件1)。在这种情况下,角速度检测元件由沿相互成直角的三根轴中的第一和第二轴向振动的所包含的振动体、驱动信号使该振动体在第一轴向振动的驱动装置、在振动体在第一轴向振动的同时当环绕第三根轴施加角速度时检测该振动体的第二轴向位移并输出检测信号的位移检测装置。此外,在基板中包含分别与角速度检测元件的驱动装置和位移检测装...
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