技术编号：6108633
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于干涉计的探测单元。背景技术 在干涉测量设备中，两个相干光束一起干涉以在探测单元形成干涉条纹形式的空间散射场，该探测单元含有电子器件，例如光电二极管和放大器等。有利的是，探测单元中无需任何电子器件。这可使得探测单元的尺寸降低。进而，如果探测单元不含电子器件，则消除了来自其它器件(例如电机)的电子噪声的问题。探测单元中的电子器件是一种热源，由于设备例如探测单元自身的部件以及干涉计所测量系统的膨胀，这可导致测量误差。因此期望消除这种热源。发明内...
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