技术编号：6108808
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明领域涉及微机电系统(MEMS)。背景技术 微机电系统(MEMS)包括微机械元件、致动器和电子设备。可通过使用沉积、蚀刻和/或其他微机械加工处理来制造微机械元件，所述微机械加工处理可蚀刻掉衬底和/或沉积材料的一部分或添加若干层以形成电子和机电设备。一种类型的MEMS设备被称为干涉调制器。如本文所使用，术语“干涉调制器”或“干涉光调制器”指的是通过使用光学干涉原理而选择性吸收和/或反射光的设备。在某些实施例中，干涉调制器可包含一对导电板，其一或两者可在整...
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