技术编号:6108861
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于确定与物体相关的形状相对于特定形状的偏离的设备和方法。背景技术 国际专利申请No.WO99/46768(国防大臣)描述了包括衍射光栅的成像系统,所述衍射光栅按照二次函数基本上是变形的以导致在变化的聚焦条件下形成图像。我们的同时待审的国际专利申请No.WO03/074985描述了用于确定与到达光瞳面的辐射波前的局部形状(或局部相位的分布)有关的数据的测量设备(以及有关的方法)并要求其权利,其中所述形状由一组预定的正交函数来定义,每个函数配有用于...
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