技术编号:6108867
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。背景尽管本发明一般适用于多种测试系统和方法,但本发明尤其适用于半导体器件测试。如所知的,半导体器件通常作为管芯在半导体晶片上一次制造多个,之后它们在向顾客发货或安装在各种产品中之前被进一步处理。该进一步处理可采用多种形式。在可能是最常见的制造后处理中,管芯在仍处于晶片形式的同时被探测和测试。之后,从晶片上单取(singulate)管芯,并且对通过初始探针测试的管芯进行封装、老化和进一步测试。在另一种常见的工艺中,管芯在从晶片单取之后并不被封装,而是被进一步...
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