技术编号:6109096
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。实施例通常涉及传感系统和方法。实施例还涉及声波传感器,诸如,例如,表面声波(SAW)和体声波(BAW)装置和传感器。背景技术 声波传感器应用在许多传感应用中,诸如,例如、温度、压力、和/或气体传感装置和系统。声波传感器的例子包括能被用来检测物质诸如化学和生物材料的存在的例如声波传感器的装置。由于对于表面负荷的高灵敏度和产生自它们的固有高Q因子的低噪声,用作传感器的声波(SAW/SBW)装置能提供高灵敏度的检测机制。表面声波装置典型地使用光刻技术由放置在压电...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。