技术编号:6109125
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明特别涉及一种激光干涉反射镜组件,但并不限于运用在电子束光刻系统中。背景技术 在电子束光刻系统中,激光干涉反射镜组件通常被置于X-Y定位台与固定工件的夹盘之间。反射镜组件包括竖直于基部之上的一对垂直的平面反射镜。因此,当夹盘被置于基部上时,被其支撑的工件位于与反射镜基本相同的高度。常规反射镜组件由典型地具有厚度约30-60mm的一块玻璃加工而成。留下玻璃块两个朝外垂直的侧面未被切割,玻璃块变薄以沿着玻璃块未切割的两侧面形成相对于凸边具有大约15-20m...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。