技术编号:6109140
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及能够抑制由加热器产生的噪声出现,进而还能够省电的加热器功率控制电路,以及使用了这种控制电路的老化装置。背景技术 近年来,伴随着半导体设备的高速化、大容量化、多位化的进程,半导体设备进一步呈现出多种多样的构成形式。对于这些半导体设备,进行了与温度相关的加速试验的老化(burn-in)试验。老化试验的特征是,对半导体设备等的被检测设备(DUTdevice under test)通电使其达到高温,对例如LSI芯片内的不完全金属结合部中的高电阻所产生的局...
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