技术编号:6109599
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于对半导体集成电路元件等各种电子器件进行测试的电子器件试验装置。背景技术 在半导体器件的制造工序中,需要对最终制造出来的IC芯片等电子器件进行试验的电子器件试验装置。这种电子器件的试验在使试验环境处于常温、高温或者低温之类的温度环境的状态下,向IC芯片输入测试模式使之动作,并检查其应答模式。这是因为作为IC芯片的特性需要即便在常温或高温或者低温下也良好地动作的保证。以往一般的电子器件试验装置由保存了用于送出测试模式并且检查应答模式的程序的测试器...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。