技术编号：6109671
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及互连组件，尤其涉及适用于用来测试集成电路器件(例如半导体晶片)的探针卡的互连组件。背景技术 探针卡通用于包括存储器芯片的集成电路器件的测试。探针卡的一个实例是来自Kulicke and Soffa Industries，Inc.的探针卡，该探针卡在一个侧面上具有金属探针的阵列，该金属探针的阵列被设置成与被测器件(DUT)(例如晶片上的管芯)上的通常为垫(pad)或隆起(bump)形式的外部电触点相接触。示范探针例如可以一端耦接到衬底(例如空间转换...
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