技术编号:6110099
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于玩具、汽车、飞机、便携终端设备等的用于检测加速度的加速度传感器装置,特别是涉及可以利用半导体技术制造的加速度传感器装置。背景技术 利用压电电阻效应或电容变化等物理量变化的加速度传感器已经开发并商品化。尽管这些加速度传感器可以在各种领域广泛使用,但最近出现对能够高灵敏度地同时检测多轴方向上的加速度的小型加速度传感器的需求。硅单晶具有以下特征由于其极少的晶格缺陷,可以是理想的弹性体;可以直接利用半导体工艺技术等等。因此,人们特别关注压电电阻效应类...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。