技术编号：6110249
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种适合高量程(1万～10万g)加速度传感器和制造方法，更确切地说是这类硅微加速度传感器耐高冲击过载是采用曲面贴合式被动保护的方法和措施实施的。属于硅微机械传感器，也属于惯性测量传感器。背景技术 随着硅微机械加工工艺的日益成熟，硅微机械加速度传感器由于其价格低、精度高、适合于批量生产，而被广泛地应用于各类运动过程的监控中。其中在高冲击环境下进行高g量程下测量的传感器在军、民两方面都有着典型而重要的应用。该类传感器的检测核心部件为硅悬臂梁力学敏感结...
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