技术编号：6110668
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。实施例大体上涉及感测方法和系统。实施例还涉及孩￡加工的感测装置。实施例另外还涉及表面声波(SAW)装置和传感器。实施例另 外涉及扭矩、压力和/或温度传感器。背景技术表面声波传感器可以-陂用在多种感测应用中，例如用在扭矩、压 力和/或温度探测中。这些传感器可以例如通过将表面声波(SAW) 装置定位在诸如石英的压电材料内的被蚀刻的隔膜上来实施。然而 到目前为止，技术障碍妨碍了这种装置被有效地实施。当前，存在 一种很强的在恶劣的环境中或与旋转部件相关联利用扭矩、...
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