技术编号:6110759
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过模制树脂密封加速度传感器芯片的加速度传 感器装置。背景技术目前,在汽车上搭载的安全气嚢系统等中使用了加速度传感器。 另外,近年来由于加速度传感器的小型化、省电化,在移动电话等小 型信息终端中也逐渐搭载了加速度传感器。对加速度传感器的动作原理提出了各种方法,作为其中一种为人 们所知的是利用了压电电阻效应的压电电阻型加速度传感器。在压电 电阻型加速度传感器中,通过对硅基板进行蚀刻加工,从而形成锤部、 和支持该锤部的梁部,在该梁部上形成当施加应...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。