技术编号:6111012
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在基板上形成电阻器后检出所定的物理量的传感器,例如涉及检出流体的流量的流量传感器、或加速度传感器、倾斜传感器中应用的物理量传感器。背景技术 作为检出汽车等内燃机的吸入空气量的流量传感器,有人提出在硅(Si)等半导体基板上,使用微型机器技术制造传感器元件的方案。这种类型的流量传感器,能够用低成本大批量生产,还具有小型、能够用低电力驱动的优点。作为这种传感器,能够直接测量质量流量的发热电阻器式的空气流量传感器,已成为主流。现有技术中广为人知的半导体类...
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