利用外差干涉法对激光波长进行测量的方法及装置的制作方法技术资料下载

技术编号:6111275

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本发明涉及一种利用外差干涉法对激光波长进行测量的方法及装置,属于激光测量。背景技术 激光波长测量系统可用于测量可调谐激光器的输出波长值,或标定未知激光的波长值。在光学测量中,激光干涉技术由其非接触、高速及可溯源等优点得到广泛应用。可调波长激光由于波长可调,可以产生需要的合成波长链,因此在绝对距离干涉测量(无导轨测长)系统中得到广泛应用。但是可调波长激光(例如可调半导体激光)由于无法锁定到自然基准,所以必须采用激光波长测量系统测量出可调波长激光的波长值。该激...
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