技术编号：6111296
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电容式微机械加速度计，属于微机电系统(MEMS)中的微机械传感器领域，它作为微惯性器件广泛应用于汽车电子、航空航天、武器装备等领域。背景技术 MEMS正处于发展时期，它的技术和市场都尚未成熟，但其孕育的广阔发展前景、巨大的社会、经济效益是世人共知的，微机械加速度计是其中最成功的代表之一。微机械加速度计的研究始于20世纪70年代初，并在80年代形成产品，市场上最具有代表性的是美国AD公司ADXL系列微机械加速度计。微机械加速度计发展很快，有压阻...
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