技术编号：6113296
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于位移传感器技术。背景技术 在现有的静态、动态位移传感器中，以磁栅、光栅、感应同步器为代表，已被广泛采用多年。它们的优点在于精度高，缺点在于价格太贵，而且不适合在恶劣的环境中使用。其原因在于上述传感器的测量精度取决它本身基准件的制造精度，精密的制造工艺导致产品成本高，精密的结构形式导致其特别娇气，容易变形损坏。发明内容本发明的目的在于针对上述问题，提出一种新的可同时兼顾动、静态测量的齿电式时栅位移传感器(简称齿电栅)，即利用达到普通均分精度的固体骨...
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