大口径离轴凸非球面反射镜面形检测方法技术资料下载

技术编号:6113733

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本发明涉及一种检测光学非球面面形的方法,特别涉及一种检测大口径离轴凸非球面反射镜面形的方法。背景技术在光学系统中使用非球面元件,能矫正像差,改善像质,而且可以减小光学系统的尺寸和重量,因此非球面光学元件正越来越多的被用于各个领域。在众多应用领域中,凸非球面元件是较为常用的核心部件。但是凸非球面面形的测量一直是光学检测中的难点,以往我们一般采用无像差点法对其进行测量,其实质是若待测表面是理想的,而点光源精确置于其中的一个几何焦点上,则由表面反射的光线形成球面...
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