条纹计测装置的变换系数校正方法和装置及条纹计测装置的制作方法技术资料下载

技术编号:6113889

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技术区域本发明涉及一种条纹计测装置,在干涉仪装置和网纹(moire)装置等条纹计测装置上,将用于从计测空间的坐标系变换至实空间的坐标系而被设定的变换系数,在出厂检查时及维修等时进行校正的,条纹计测装置的变换系数校正方法和装置,以及具备此种变换系数校正装置的条纹计测装置。 背景技术 基于通过干涉仪装置等的条纹计测装置拍摄的条纹图像,为了精确地求出被计测物体的形状或倾斜度等,从计测空间的坐标系至实空间的坐标系的变换是必要的(参照下述非专利文献1)。因此在条纹计...
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