技术编号：6113973
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种检漏方法和装置，特别是涉及采用激光成像的方法对大型仪器设备进行检漏的一种现有使用的检漏方法大致可分为四类压力检测法、真空检测法、气体检测法和超声波检测法，如参考文献[1]张旦华，肖盛怡译“传感器应用”，[日]自动化技术编辑部，中国计量出版社，1992年。其中气体检测法优于其它三类方法。在气体检测法中，常用的有卤素检测法、导热率检测法和氦检测器等。这四类检漏方法的检漏灵敏度有所不同，有的灵敏度较低，有的较高，气体检测法的灵敏度均可达到年泄漏率小...
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