技术编号:6114026
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及通过探测衍射光栅产生的衍射光来探测位移的位移探测装置,通过利用衍射光栅产生的衍射光的干涉来测量位移的位移测量装置,以及用这种衍射光对定点进行定位的定点探测装置。背景技术 通过利用光的干涉来探测安装在活动度盘(moving scale)上的衍射光栅的位置位移的光栅干涉仪是已知的。现在,参看附图1说明已知的位移探测装置。图1示出采用透射型衍射光栅的位移探测装置。参看图1,这种位移探测装置包括相干光源部90,第一透镜91,第一偏振光分束器(PBS)92...
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