技术编号:6114181
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于测量流体小流量的流量计,尤其是涉及一种用于测量半导体制造设备中的流体的小流量的流量计,该半导体制造设备用于制造例如具有精细互连结构的半导体器件。背景技术 作为用来测量流体例如气体或液体流量的装置,公知的一种流量计具有设置在壳体中的加热元件,并通过测量所述加热元件的温度来测量流体的流量,该加热元件的温度随着壳体中流动的流体流量而变化还已知一种流量计,其包括设置在由透光材料制成的壳体的一侧上的多个发光二极管(LED)、设置在壳体相对一侧上且与...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。