技术编号:6114256
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及表面分析技术,更具体地说,涉及动态参考平面校平(leveling)。背景技术 很多技术应用都涉及测量表面的状况。例如,在盘驱动器领域,在生产期间的不同阶段确定盘表面的微观拓扑正在成为在估计生产满意质量的盘的可能性时的越来越重要的因素。鉴于在这样的盘上存储着高密度的数据,因而以1微米量级的横向分辨率来监视高度范围从小于1纳米到数十微米的表面形貌分布。在诸如硬盘驱动器一类的存储设备中,读写头非常靠近旋转盘。读写头使得对盘的磁方式访问(而不是物理访问)...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。