技术编号:6114570
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对成为测量对象的光束进行波前测量或在该光束的聚光斑(spot)中进行各种测量的光束测量装置,特别涉及一种适于对可干涉性低的光束进行测量的光束测量装置。背景技术 以往,一直公知的是,使进行测量的光束在CCD等的摄像面上以点状成像而形成点像,对该点像的形状和大小、或强度分布(点像强度分布)和重心坐标等进行测量(将这些总称为「光斑(spot)特性测量」)的装置(也称为「光束轮廓仪(beam profiler)」)(参照以下的专利文献1)。另外,作为对光...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。