技术编号:6114810
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于测量基底厚度的测量系统及其方法,特别涉及一种在制造过程中精确测量基底厚度的在线测量系统及其方法。通常采用激光设备测量基底的厚度。激光设备是一种干涉计,一般包括激光源、镜头和探测传感器。每个激光源、镜头和探测传感器相对于基底被精确地布置,其布置是相当困难的。另外,激光设备的探测传感器通过对机械振动相当敏感。于是,如果基底在测量过程中移动或振动,激光设备就不能精确地测量基底的厚度,甚至不能进行测量操作。因此,为了使用激光设备测量基底的厚度,通过基...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。