技术编号：6115094
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及测量流体的流量的发热电阻式的热式流量测量装置，尤其涉及使用于内燃机的流量传感器、或者燃料电池系统的流量传感器等的热式流量测量装置。背景技术 一直以来，作为设置于汽车等的内燃机的吸入空气通路中的、测定吸入空气量的空气流量传感器，由于热式的空气流量传感器可以直接检测质量空气量，所以成为主流。最近特别是通过半导体微细加工技术制造的空气流量传感器，因为具有高速响应性或者也可以利用该响应性的速度进行逆流检测，所以受到瞩目。作为该热式的空气流量传感器，公知的...
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