锆钛酸铅薄膜红外热成像探测器悬空结构的制作方法技术资料下载

技术编号:6115164

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本发明涉及红外热成像探测,进一步讲是涉及采用PZT薄膜作为红外敏感材料制作非致冷焦平面红外热成像探测器悬空结构,具体是一种锆钛酸铅薄膜红外热成像探测器悬空结构的的制作方法。背景技术 基于光电效应的光子探测器和基于热电效应的热电探测器一直是红外热成像技术的两大支柱。长期以来,由于HgCdTe、InSb和PtSi探测器的发展,使光电探测器类热成像技术得到迅速发展,并在军事领域和部分工业领域得到应用,但由于需要致冷以及成本等原因,在民用领域较难形成大市场。经过多...
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