技术编号:6115230
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种薄膜压力传感器及其生产方法,尤其涉及。背景技术 低温介质压力测量的关键是保证传感器具有较小的零点温度系数和灵敏度温度系数。为了减小传感器的零点温度系数和灵敏度温度系数,一般都采用在电桥中串联具有一定温度系数的补偿电阻来进行补偿。现有的压力传感器温度补偿范围有限,补偿电阻的大小通过试验确定,在膜片外的引线板上连接补偿电阻。一方面,-40℃以下低温介质试验环境难以模拟,另一方面,由于补偿电阻不在膜片上,和应变电阻之间存在一定的温度梯度,无法实现精...
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