技术编号：6115260
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于感测探针相对于参考介质的位置的方法和设备。背景技术 在本发明的领域中，微机电系统(MEMS)是一种微米尺寸的机械元件的技术，它包括各种几何形状的三维平版印刷特征。它们一般使用类似于半导体工艺(例如表面微加工技术和/或体微加工技术)的平面加工工艺来生产。MEMS通常使用经过修改的硅制造技术、模塑和电镀、放电加工以及能够生产非常小的器件的其他技术来制造。本发明的领域还包括使用纳米尺度的尖头来成像并研究小到原子尺度的材料结构的技术。这样的技术包...
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