技术编号:6115289
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于追踪移动体,并且高精度地测定该移动体的位移或位置的追踪式激光干涉仪。特别地涉及向作为被测定体的后向反射器照射激光束,通过利用该后向反射器向返回方向反射的激光束的干涉检测后向反射器的位移,并且利用上述激光束的光轴的位置变化进行追踪的追踪式激光干涉仪的改良。背景技术 众所周知,有向作为被测定体的后向反射器照射激光束,通过利用该后向反射器向返回方向反射的激光束的干涉检测后向反射器的位移,并且利用上述激光束的光轴的位置变化进行追踪的追踪式激光干涉仪例...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。