技术编号:6115551
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学测量和半导体光电子学,尤其涉及一种测量 小光斑尺寸的方法。背景技术光学测量和半导体光电子学是当今世界上比较活跃的两个科技领域, 在这个两个领域中都涉及到一个共同的问题光斑的尺寸。在很多情况下, 都需要光斑聚焦到很小的尺寸,才能进行下一步的实验,有些情况下,甚 至还需要知道光斑的具体尺寸。但是,目前一般的测量方法很难测量出光斑的尺寸大小,从而阻碍了 科学实验的发展。发明内容(一) 要解决的技术问题有鉴于此,本发明的主要目的在于提供, 以测量出光...
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