技术编号:6115707
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光激振测振仪,特别是一种基于正弦相位调制的单光源激振测振仪。背景技术 采用微结构器件,如NEMS(nanoelectromechanical systems)器件以及MEMS(microelectromechanical systems)器件对物质成分的属性及含量进行高精度检测的硅微谐振传感器,由于具有灵敏度高、响应速度快、尺寸小、成本低、性能可靠、可批量生产等优点,是近年来国际上的研究热点之一。其中,采用光激励和光检测工作方式的硅微机械谐振传...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。