技术编号:6116056
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于位移传感器技术,具体涉及一种大量程直线型相位光栅轮廓测量位移传感器。背景技术 随着表面轮廓测量技术的迅速发展,研制大量程、高精密、低成本位移传感器的问题变得至关重要。轮廓测量一般使用电感式位移传感器存在测量范围小、造价高、精度低的问题。目前已有的大量程轮廓测量位移传感器主要有两种一是利用激光干涉原理的轮廓测量位移传感器。([1]肖虹,王选择,谢铁邦。滚动轴承曲面轮廓形貌测量仪。轴承,6,2004,p.30~33),与光栅干涉相比,激光干涉测量精度...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。