技术编号:6116264
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电子衍射技术,具体的说是一种反射式高能电子衍射仪用-25KV电子枪电源。 背景技术-25KV电子枪电源是与长焦距电子枪配套使用,合称为反射式高能电 子衍射仪(RHEED )。该衍射仪是分子束外延生长设备不可缺少的监控仪器。 主要用来研究MBE生长过程中样品表面再构、粗糙度、台阶和小面等无序 情况。同时配合RHEED强度振荡检测系统,还可作日常生长中的束流标准、 合金组成的控制,量子阱和超晶格厚度的测量,生长温度的控制等。以前生产的电源,存在灯丝电...
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